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三星成功研发EUV光罩护膜,透光率88%—IM电竞体育官方网站

发表时间:2024-10-21

来源:韩媒 ETNews

据韩媒报道,三星于2022年底已完成透光率达88%的光罩护膜研发,并掌握量产技术。业界指出,三星投入EUV光罩护膜研发,主要为了应对未来需求和供应多元化。

光罩护膜用于半导体曝光制程,可以大幅减少制程污染,减少光罩损伤。EUV用光罩价格达数亿韩元(1亿韩元约8万美元),使用光罩护膜可降低成本,特别是在5nm以下先进制程,光罩管理开始受到重视,光罩护膜的需求也相应提升。

目前EUV光罩护膜市场由独家供应EUV曝光设备的荷兰ASML、及日本三井化学(Mitsui Chemicals)主导。随着光罩护膜的需求因EUV制程普及而提升,对海外厂商的依赖度将提高,为了供应链的稳定,需先行展开投资。

据悉,台积电也为了确保EUV用光罩护膜投入产品研发,业界预测,2023年EUV光罩护膜需求将比2022年增加近2倍。

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